雷士真空式超聲波清洗機，是常壓下把被清洗的物體投入到清洗液中，進行真空脫氣處理，使清洗液中微小氣泡隨著氣壓的降低，在細孔中膨脹，進而把污垢一同帶出，然后在真空狀態下，啟動超聲波發生裝置，利用超聲波在脫氣后的清洗液中良好的清洗能力剝除污垢。必要時為提高清洗效果還可以反復進行減壓脫氣和恢復到常壓狀態的循環操作，以提高超聲波的傳送效率和增強對污垢的剝離效果。

 當真空脫氣排除氣體后產生真性氣泡，對形狀復雜、孔隙細小的精密零件清洗效果尤為明顯，超聲波清洗的效率大大提高。