超精密工業(yè)清洗之納米工藝

當(dāng)前，微電子技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到納米工藝水平，90納米的生產(chǎn)線已經(jīng)在建設(shè)之中．通信設(shè)備中大量使用的波分復(fù)用光電子器件(DWDM)，分辨率要達到精確地分開和識別不同波長的光．這類產(chǎn)品的清洗要達到近乎完美的程度，殘留污物的直徑要在0.1nm左右．普通的電子顯微鏡已經(jīng)難以觀察到。超精密工業(yè)清洗必須在超級凈化的環(huán)境中進行，需要使用超高純度的清洗劑和DI水(去離子水)，以及高級清洗裝置．除了部分簡單設(shè)備外，目前我國尚沒有企業(yè)能夠提供該類技術(shù)和設(shè)備，基本依靠進口。