真空泵是一種能夠?qū)怏w中的雜質(zhì)排除出去的裝置，能夠在完全真空的狀態(tài)下進(jìn)行運作。如果普通的超聲波清洗設(shè)備能夠配備一個真空泵，那么超聲波清洗設(shè)備的清洗效果會更為強勁。不過，超聲波清洗設(shè)備中使用的真空泵會根據(jù)實際情況進(jìn)行相應(yīng)的改良，這種真空泵除了具備原有的功能之外，還具有干燥及循環(huán)運行的功能。改進(jìn)后的真空泵不僅除質(zhì)效果更為明顯，而且出現(xiàn)故障的情況也會相應(yīng)減少，從而使得維修率大大降低。當(dāng)真空泵處于滿額狀態(tài)時，也不會因為溶液盛放過滿而爆炸，穩(wěn)定性能非常高。

此外，真空泵中的烴和水氣凝結(jié)而成的溶液還能夠通過冷卻處理被再次使用，回收使用率非常高，并且回收的溶液濃度很低，不會發(fā)生漏電等事故，增強真空泵穩(wěn)定性能的同時，還能夠降低溶液的使用成本。

    同時，通過超聲波清洗設(shè)備高頻率的振動，還能夠使真空泵中的液體產(chǎn)生大量的微氣泡，使得超聲波清洗設(shè)備的清洗性能更為強勁。如果再對超聲波清洗設(shè)備的壓力系統(tǒng)、控液系統(tǒng)等部位加以改進(jìn)，使超聲波清洗設(shè)備擁有頻率共振和自動掃頻的功能，將使其清洗效果更加均勻和高效。

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