超聲波氣相清洗技術能夠通過超聲波空化的原理，以及加熱管的升溫，將清洗溶液的溫度不斷升高，當達到一定溫度后，關閉加熱管，工件周圍形成的微小氣泡氣化并形成蒸氣，工件在蒸氣的作用下，表面的油污及積垢被逐漸溶解，當蒸氣遇到空氣之后，連同污垢一起凝結成固體，然后從工件表面脫落到清洗槽內。如果這時再接通加熱管，使清洗槽升溫，清洗溶液產(chǎn)生的氣泡和脫落下來的油污都會被氣化，形成能夠用于清洗工件的蒸氣，再與工件表面的殘余污垢接觸，產(chǎn)生一系列的變化，從而達到清潔的效果。超聲波氣相清洗技術就是通過這種循環(huán)的清洗方式，將工件表面的油污逐漸清洗徹底的，這一技術的優(yōu)勢是不需要擔心使用過的清洗溶液變得污濁，因為污垢會被氣化而蒸發(fā)掉，始終能夠保持清洗溶液的清澈。

目前，超聲波氣相清洗技術所使用的清洗溶液必須具有不易燃燒且易揮發(fā)的特性，例如甲基氯仿、氟氯烴等有機溶劑。通過這些有機溶劑的輔助，再加之超聲波氣相技術的作用，能夠起到相當高精度的清洗效果。另外，還能夠附加冷卻干燥裝置，快速冷卻工件的同時，還能夠將工件表面的水分快速烘干，直接進入下一環(huán)節(jié)或者包裝出售。

超聲波氣相清洗設備能夠選用不銹鋼材質制成，這一材料的優(yōu)點是不易生銹，且耐腐蝕。該設備主要由一個超聲波清洗槽及一個蒸氣槽共同組成。自帶的冷凝裝置能夠在清洗溶液還沒有揮發(fā)之前，就將蒸氣快速冷卻凝固成固體，再進入接下來的清洗工序之中。該設備是一種造價低廉，環(huán)保無污染的綠色清洗設備。這一設備比較適合用于清洗大量的電路板、電子零部件、五金部件等電子、工業(yè)加工工件。