超聲波的空化值和超聲波的頻率有密切關系，頻率越高，空化值越高。超聲波清洗機頻率低，空化越容易產生，在低頻情況下，液體受到的壓縮和稀疏作用有更長的時間間隔，使氣泡在破裂前達到較大的尺寸，空化強度增加，有利于清洗作用。所以低頻超聲清洗適用于大部件表面污物和污物與清洗件表面結合度高的場合。但低頻對于清洗件表面轟擊很強，不適宜清洗表面光潔度高的部件，而且空化噪音較大。

高頻40KHz以上的超聲波頻率，在相同聲強下，產生的空化泡數量比20KHz的多，空化強度低但穿透力強，比較適合清洗表面形狀復雜或有盲孔的工件，以及清洗污物與被清洗件表面結合力較弱的場合，空化噪音較小。高頻超聲清洗適用于計算機，微電子元件的精細清洗，兆赫超聲清洗適用于集成電路芯片、硅片及波薄膜的清洗，能去除微米、亞微米級的污物而對清洗件沒有任何損傷，但造價不菲。從清洗效果及經濟性考慮來看，頻率一般選擇在20—68KHz范圍，能基本滿足清洗的需要。

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